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Großkammer-REM Philips 525
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Maximale Probengröße 150x150x40mm bei einem Gewicht bis zu 1000 Gramm
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Probentisch motorisch auf 1µm positionierbar mit speicherbaren Positionen
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Turbo-Pumpstand für ölfreies Vakuum
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LaB6-Kathode
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Multi-Detektorsystem mit folgenden Detektoren: 2 SE, 1 BSE, 1 Probestrom
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DISS 5 - Bildeinzug von  Point Electronic, Halle
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Scanmöglichkeit bis 12000 x 12000 Pixel auch für großformatige Messebilder
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Auflösungsgrenze ca. 9 Nanometer (Präparatabhängig)
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Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX) im Aufbau
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